Obiettivi formativi
Il corso intende fornire le competenze necessarie per la comprensione dei processi tecnologici e di fabbricazione dei dispositivi elettronici ed optoelettronici utilizzati in un ampio spettro di applicazioni.
La formazione si estende anche alla conoscenza e all’utilizzo pratico di strumenti CAD per la progettazione a livello di dispositivo con riferimento a tecnologie elettroniche su Si (anche per dispositivi fortemente scalati), e su altri semiconduttori e ai componenti per l’optoelettronica.
Prerequisiti
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Contenuti dell'insegnamento
Processo planare su silicio: si analizzano i vari passi del processo planare su silicio evidenziandone i limiti e le possibilità di miglioramento, applicando poi tali concetti ad alcuni importanti processi (es. processo CMOS).
I concetti di miniaturizzazione, integrazione e time to market vengono analizzati a partire dalle ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors), con particolare attenzione ai dispositivi MOSFET, alle memorie, e alle linee d’interconnessione che verranno analizzati in termini di materiali, tecnologie, tecniche di processo e nuove strutture.
Moduli fotovoltaici: si analizzano alcune delle più importanti celle fotovoltaiche, con particolare attenzione alle celle solari a film sottile.
Si analizzano alcune tecniche, tecnologie e applicazioni per il recupero e l’immagazzinamento d’energia dall’ambiente (energy harvesting).
Si prevede l’utilizzo di strumenti CAD (esperienze di laboratorio) per l’analisi e la progettazione di alcuni dispositivi trattati nel corso (es. progetto di celle solari)
Programma esteso
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Bibliografia
1) S.M.Sze, "ULSI technology", Mcgraw hill, 1996
2) S.M.Sze, "VLSI technology", McGraw-Hill Book Co., 1983
3) G. Soncini, "Tecnologie microelettroniche", Boringhieri, 1986.
4) Vijay K. Varadan, "Smart material systems and MEMS : design and development methodologies" Wiley, 2006.
Metodi didattici
Lezioni orali e attività di laboratorio.
Modalità verifica apprendimento
Esame Orale.
Altre informazioni
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