Obiettivi formativi
Il corso intende fornire allo studente le principali nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI.
Prerequisiti
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Contenuti dell'insegnamento
<br />- Processo planare del silicio;<br />- Fabbricazione del silicio monocristallino;<br />- Fotolitografia;<br />- Ossidazione;<br />- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica<br />- Deposizione, epitassia<br />- Attacchi<br />- Metallizzazioni e interconnessioni<br />- Problemi di “packaging”<br />
Programma esteso
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Bibliografia
<br />S.M. SZE: ' VLSI Technology ', McGraw-Hill, 1988<br />G. SONCINI: ' Tecnologie Microelettroniche ', Boringhieri, 1986
Metodi didattici
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Modalità verifica apprendimento
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Altre informazioni
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Obiettivi agenda 2030 per lo sviluppo sostenibile
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